A série AW oferece sensibilidade melhor que 5 microns e produtividade aproximadamente duas vezes mais rápida que sistemas concorrentes. Possui scanners sem imersão que eliminam falsos positivos devido à infiltração de água DI.
A série AW manuseia, inspeciona e classifica automaticamente as bolachas com base em critérios de aceitação/rejeição definidos pelo usuário. É projetada para lidar com produtos a nível de bolacha, como sensores BSI, SOI, MEMS, LEDs, Chip-on-Wafer e bolachas não polidas, fabricados por vários métodos, incluindo fusão direta, anodização, vidro fritado e colagem epóxi.
- **Técnicas de ligação direta**: Os rendimentos podem ser significativamente melhorados inspecionando em três estágios de produção: após a ligação inicial por forças de Van der Waals, após o recozimento e após o afinamento.
- **Dispositivos MEMS**: A qualidade dos selos de cavidade pode ser examinada antes da singulação.
- **Bolachas cruas e não polidas**: Detectar vazios naturais que causam "furos de alfinete" durante o processamento posterior.
- **LEDs**: Examinar a ligação das camadas automaticamente em uma base die-by-die e classificar dies defeituosos e suspeitos.
A série AW utiliza lentes acústicas de alta frequência proprietárias da Nordson TEST & INSPECTION para imagens detalhadas. Lentes especiais são necessárias, pois materiais como Silício, Safira, Vidro e GaAs podem ser muito transparentes ao ultrassom. A delaminação com separação tão fina quanto 200Å pode ser detectada.
A série AW300 oferece inspeção totalmente automatizada, é compatível com SECS/GEM e pode ser personalizada de acordo com seus requisitos.
**Características**
- Transdutor em cascata para varredura sem imersão minimiza o risco de contaminação e indicações de ligação incorretas.
- Portas de carga duplas (opcionais) para maior capacidade de lote com portas de carga para transportadores FOUP ou FSOB de 300 mm, SMIF de 200 mm e cassetes de 100 mm a 200 mm.
- Software de análise automatizada determina com precisão a porcentagem de ligação, tamanho e contagem de vazios, selos de cavidade abertos e largura mínima de selo, com aceitação/suspeita/rejeição automática com base nos critérios do usuário.
- Emissor/receptor de largura de banda de 500 MHz e transdutores de ultra-alta resolução para imagens superiores.
- Opções de sala limpa classificadas Classe 1000 e Classe 100 disponíveis.