概要計量用アイソレータ AMI 502 は、大気または不活性ガス中で、外側から内側へと負の圧力勾配が低下する条件での稼働を想定して設計されており、作業者および環境の保護を確保します。
システム構成- 材料導入用エアロック(プリチャンバー)
- 作業室
- 支持フレーム
- 上部技術コンパートメント
主な特長- AISI 316L 一体構造、内面鏡面仕上げ
- 廃棄物排出用の連続ライナー(continuous liner)
- 吸引と送気の両方に HEPA 14 の二重フィルター群(in と out)
- 運転管理用圧力トランスミッタ
- フィルター効率監視用圧力トランスミッタ
- 安全弁
- リークテスト(DOP test)対応
- 湿度・温度プローブ
- 電源コンセント内蔵
- ガス供給用減圧ユニット
- 処理サイクル中の空気圧インターロック
- セーフティモード
- 音声および光のアラーム付き LED 信号塔
- Siemens タッチ HMI パネル
仕様 / 技術データ- 寸法 (L x D x H) mm: 作業室 1000 x 700 x 900
- 寸法 (L x D x H) mm: プリチャンバー 550 x 700 x 600
- 寸法 (L x D x H) mm: サポート 1460 x 570 x 760
- 重量: 約 470 kg
- 電源: 230 V - 50 Hz