光学式検査システム AMI AW C-SAM® series

全自動医療大容量

AWシリーズは、5ミクロンを超える感度と、競合システムの約2倍のスループットを提供します。DI水の浸入による誤検出を排除する非浸漬スキャナーを備えています。 AWシリーズは、ユーザー定義の受け入れ/拒否基準に基づいてウェーハを自動的に処理、検査、分類します。BSIセンサー、SOI、MEMS、LED、チップオンウェーハ、未研磨ウェーハなどのウェーハレベル製品を、直接融合、陽極、ガラスフリット、エポキシ接合などのさまざまな方法で製造された製品を処理するように設計されています。 - **直接接合技術**: バンデルワールス力による初期接合後、アニーリング後、薄化後の3つの生産段階で検査することで、歩留まりを大幅に向上させることができます。 - **MEMSデバイス**: 分離前にキャビティシールの品質を検査できます。 - **未研磨ウェーハ**: 後続の処理中に「ピンホール」を引き起こす自然な空隙を検出します。 - **LED**: ダイごとに層の接合を自動的に検査し、不良および疑わしいダイを分類します。 AWシリーズは、Nordson TEST & INSPECTIONの独自の高音響周波数レンズを使用して詳細な画像を取得します。シリコン、サファイア、ガラス、GaAsなどの材料は超音波に非常に透明であるため、特別なレンズが必要です。200Åの薄さの分離での剥離を検出できます。 AW300シリーズは、完全自動化された検査を提供し、SECS/GEMに準拠しており、要件に合わせてカスタマイズできます。 **特徴** - 非浸漬スキャン用のウォーターフォールトランスデューサーは、汚染リスクと誤った接合指示を最小限に抑えます。 - 300mm FOUPまたはFSOBキャリア、200mm SMIF、および100mmから200mmのカセット用のロードポートを備えた、より大きなバッチ容量のためのデュアルロードポート（オプション）。 - 自動分析ソフトウェアは、結合率、空隙のサイズと数、開いたキャビティシール、最小シール幅を正確に決定し、ユーザー基準に基づいて自動的に受け入れ/疑わしい/拒否します。 - 500 MHz帯域幅のパルサー/レシーバーと超高解像度トランスデューサーで優れた画像を生成します。 - クラス1000およびクラス100のクリーンルーム対応オプションが利用可能です。