Termostato de processo Semistat S 2400

compactosem visoraquecedor

Descrição do produto
Sistema de controlo de temperatura ponto de utilização (POU) concebido para gestão precisa da temperatura de processo em ambientes de semicondutores e laboratórios. A operação POU pode reduzir o consumo de energia até 90% em comparação com sistemas com compressor e permite instalação compacta junto ao processo, incluindo montagem sob o pavimento para minimizar a área em sala limpa. Controlo rápido e estável a ±0,1 °C que melhora a homogeneidade wafer-a-wafer e a repetibilidade do processo.

Características

• Termostato de processo termoelétrico com baixo consumo de energia
• Funcionamento silencioso e com baixas vibrações graças à tecnologia de arrefecimento sem refrigerante
• Não requer filtros nem componentes DI no circuito de arrefecimento
• Ligação para purga com ar seco limpo (CDA) para prevenir condensação
• Concebido para utilização com fluidos perfluorados
• Sistema arrefecido a água para desempenho térmico estável
• Dimensões compactas e baixo peso
• Volume interno de fluido de transferência de calor extremamente baixo
• Compatível com as normas SEMI S2 e F47

Intervalo de trabalho

• Temperatura mínima de trabalho: -20 °C
• Temperatura máxima de trabalho: 90 °C
• Estabilidade da temperatura: ±0,1 K

Capacidade de arrefecimento (tabela)
Temperatura | Capacidade de arrefecimento 50 Hz | Capacidade de arrefecimento 60 Hz
20 °C | 2,45 kW | 2,45 kW
10 °C | 1,93 kW | 1,93 kW
0 °C | 1,4 kW | 1,4 kW
-10 °C | 0,88 kW | 0,88 kW
-20 °C | 0,35 kW | 0,35 kW

Acessórios (exemplos)

• Recipiente de enchimento

Especificações técnicas

• Intervalo de temperatura de trabalho: -20 ... 90 °C
• Estabilidade da temperatura: ±0,1 K
• Potência mínima do aquecedor: 6 kW
• Volume mínimo de enchimento: 1,25 L
• Volume máximo de enchimento: 1,6 L
• Dimensões (LxPxA): 116 x 300 x 560 mm
• Peso: 27 kg
• Peso líquido: 26,81 kg
• Alimentação: ligação a PSC