Termostato para sala limpa Semistat S 4400de processocompactosem visor
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Características
- Área de aplicação
- de processo, para sala limpa
- Configuração
- compacto
- Visor
- sem visor
- Outras características
- aquecedor, de resfriamento, com circulação
- Faixa de temperatura
MÁX: 90 °C
(194 °F)MÍN: -20 °C
(-4 °F)
Descrição
Descrição do produto
Termostato de processo termoelétrico ponto de uso (POU) para controlo preciso da temperatura de processo em aplicações de semicondutores e salas limpas. Reduz o consumo de energia até 90% em comparação com sistemas à base de compressor. Pequena área ocupada com opção de instalação sob o pavimento para minimizar o espaço em sala limpa. Controlo de temperatura preciso até ±0.1 °C para melhorar a homogeneidade wafer a wafer.
Características
Faixa de funcionamento
Dados técnicos (de acordo com DIN 12876)
Capacidade de arrefecimento
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Transferências (documentos disponíveis)
Ficha técnica Semistat S 4400
Manual de operação Semistat (Point of Use)
Brochura: Semistat / Circulation and process thermostats
Especificações técnicas
Termostato de processo termoelétrico ponto de uso (POU) para controlo preciso da temperatura de processo em aplicações de semicondutores e salas limpas. Reduz o consumo de energia até 90% em comparação com sistemas à base de compressor. Pequena área ocupada com opção de instalação sob o pavimento para minimizar o espaço em sala limpa. Controlo de temperatura preciso até ±0.1 °C para melhorar a homogeneidade wafer a wafer.
Características
- Termostato de processo termoelétrico com baixo consumo energético
- Funcionamento silencioso e baixa vibração devido à tecnologia de arrefecimento sem refrigerante
- Sem necessidade de filtros ou componentes DI
- Ligação para purga com ar limpo e seco (CDA) para evitar condensação
- Uso de fluidos perfluorados
- Variante com arrefecimento por água disponível
- Tamanho compacto e baixo peso
- Volume extremamente reduzido de fluido de transferência de calor
- Compatível com SEMI S2 e F47
Faixa de funcionamento
- Temp. mínima de funcionamento: -20 °C
- Temp. máxima de funcionamento: 90 °C
- Estabilidade de temperatura: 0.1 ± K
Dados técnicos (de acordo com DIN 12876)
- Faixa de temperatura de funcionamento: -20 ... 90 °C
- Estabilidade de temperatura: 0.1 ± K
- Potência do aquecedor (mín.): 12 kW
- Volume mínimo de enchimento: 2.5 L
- Volume máximo de enchimento: 2.8 L
- Dimensões (LxPxA): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Alimentação: Ligação a PSC
- Tecnologia de arrefecimento: termoelétrica / sem refrigerante (variante arrefecida a água disponível)
- Conformidade: SEMI S2 e F47
Capacidade de arrefecimento
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Transferências (documentos disponíveis)
Ficha técnica Semistat S 4400
Manual de operação Semistat (Point of Use)
Brochura: Semistat / Circulation and process thermostats
Especificações técnicas
- Nome comercial / modelo: Semistat S 4400
- N.º de peça: L003278
- Faixa de temperatura de funcionamento: -20 ... 90 °C
- Estabilidade de temperatura: 0.1 ± K
- Potência do aquecedor (mín.): 12 kW
- Volume de enchimento (mín./máx.): 2.5 L / 2.8 L
- Dimensões (LxPxA): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Tecnologia de arrefecimento: termoelétrica / sem refrigerante (variante com água)
- Conformidade: SEMI S2 e F47
Catálogos
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Circulation and process thermostats
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.