クリーンルーム用サーモスタット Semistat S 1200

コンパクトディスプレイなし加熱

概要
ポイント設置向けのサーモエレクトリック（熱電）プロセスサーモスタット。半導体およびクリーンルーム工程での精密な温度制御を目的とし、コンプレッサー式に比べてエネルギー消費を削減します。使用箇所下床設置によりクリーンルーム面積の最小化が可能。プロセス温度プロファイルを±0.1 °Cで制御し、ウェハ間の均一性を向上させます。

特長

• 低消費電力のサーモエレクトリックプロセスサーモスタット
• 冷媒を使用しない冷却技術により静音・低振動で動作
• フィルターやDI部品を必要としない設計
• 結露防止のためのクリーンドライエア（CDA）パージ接続を装備
• パーフルオロ化流体を使用
• 水冷式バリエーションあり
• ポイント設置向けのコンパクトな外形と軽量設計
• 極めて少ない熱媒体液量
• SEMI S2およびF47適合

作動範囲

• 最低作動温度：−20 °C
• 最高作動温度：90 °C
• 温度安定度：±0.1 K

冷却能力（例）
温度 — 冷却能力 50 Hz — 冷却能力 60 Hz
20 °C — 1.2 kW — 1.2 kW
10 °C — 0.9 kW — 0.9 kW
0 °C — 0.6 kW — 0.6 kW
−10 °C — 0.35 kW — 0.35 kW
−20 °C — 0.08 kW — 0.08 kW

技術仕様（DIN 12876準拠）

• 作動温度範囲：−20 ... 90 °C
• 温度安定度：±0.1 K
• 最小ヒーター出力：3 kW
• 最小充填量：1 L
• 最大充填量：1.3 L
• 寸法（WxDxH）：116 x 232 x 470 mm
• 重量：15 kg
• 電源：PSCへの接続