クリーンルーム用サーモスタット Semistat S 4400

プロセスコンパクトディスプレイなし

製品説明
ポイントオブユース（POU）向け熱電プロセスサーモスタット。半導体およびクリーンルーム用途でのプロセス温度を精密に制御します。コンプレッサー方式と比べて最大90％の省エネが可能。床下設置オプションによりクリーンルームの占有面積を最小化。±0.1 °Cの精密温度制御によりウェーハ間の均一性を向上させます。

特長

• 低消費エネルギーの熱電式プロセスサーモスタット
• 冷媒を使用しない冷却技術により静音・低振動で動作
• フィルターやDI部品不要
• 結露防止のためのクリーン乾燥空気（CDA）パージ接続
• パーフルオロ化合物系熱媒体の使用
• 水冷仕様のバリアントあり
• コンパクトな外形、軽量
• 極めて少ない熱媒体容量
• SEMI S2およびF47準拠

動作範囲

• 最低動作温度：-20 °C
• 最高動作温度：90 °C
• 温度安定性：0.1 ± K

技術データ（DIN 12876 に準拠）

• 動作温度範囲：-20 ... 90 °C
• 温度安定性：0.1 ± K
• 加熱出力（最小）：12 kW
• 最小充填量：2.5 L
• 最大充填量：2.8 L
• 外形寸法（WxDxH）：194 x 300 x 560 mm
• 重量：38 kg
• 電源：PSC接続
• 冷却方式：熱電式／冷媒不要（水冷バリアントあり）
• 適合規格：SEMI S2 および F47

冷却能力
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)

ダウンロード（利用可能な文書）
データシート Semistat S 4400
取扱説明書 Semistat (Point of Use)
パンフレット: Semistat / Circulation and process thermostats

技術仕様

• 商品名 / 型式：Semistat S 4400
• 品番：L003278
• 動作温度範囲：-20 ... 90 °C
• 温度安定性：0.1 ± K
• 加熱出力（最小）：12 kW
• 充填量（最小/最大）：2.5 L / 2.8 L
• 外形寸法（WxDxH）：194 x 300 x 560 mm
• 重量：38 kg
• 冷却技術：熱電式／冷媒不要（水冷バリアントあり）
• 適合：SEMI S2 および F47